在半导体制造过程中,会添加石墨粉以提高性能,半导体用石墨粉有什么使用要求呢?下面泰昌石墨小编详细讲解半导体用石墨粉的要求:
1、纯度规定
半导体行业对石墨粉原料有很高的规定,尤其是两者之间接触的石墨器件,如果杂质过多会污染原料。因此,除了严格管理石墨原料的纯度外,还必须通过高温将灰度降到最低。
2、粒度分布规定
半导体工业级石墨原料要求粒度细,粒度细的石墨极易生产加工精度高,而且高温抗压强度高,耐磨性好和撕小。
3、耐热性规定
半导体工业生产石墨器件,大部分需要连续加热和冷却,为了提高器件的使用寿命,石墨粉必须具有优良的高温可靠性和抗高温冲击性能。
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